簡(jiǎn)要描述:PECVD系統(tǒng)爐即等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積爐,是一種基于等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的薄膜沉積設(shè)備,是一款三溫區(qū)開(kāi)啟式管式爐,其最高溫度可以達(dá)到1200℃(1200℃<1H)。
產(chǎn)品分類(lèi)
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RELATED ARTICLES品牌 | HF.weiyuansu | 升溫速度(達(dá)到最高溫) | ≤5/min |
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加熱方式 | 鐵鉻鋁合金絲 | 最大功率 | 7.1kW |
控溫精度 | ±1℃ | 最高溫度 | 1200℃ |
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類(lèi) | 管式爐 |
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,地礦,冶金,航天,綜合 |
長(zhǎng)期使用溫度 | 1100℃ | 可選管徑 | φ50、φ60、φ80、φ100、φ130 |
CVD系統(tǒng)(高真空)PECVD系統(tǒng)爐
OYS-1200C-Ⅲ+GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)
OYS-1200C-Ⅲ——翻蓋爐
一款三溫區(qū)開(kāi)啟式管式爐,其最高溫度可以達(dá)到1200℃(1200℃<1H)。爐管為高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可以在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。CVD系統(tǒng)(高真空)PECVD系統(tǒng)爐對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度±1℃。
技術(shù)資料
產(chǎn)品型號(hào) | 翻蓋爐 OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100、φ130) |
主要產(chǎn)品參數(shù) | 電源:220V 50/60Hz 額定功率:7.1 KW 最高工作溫度:1200℃(<0.5 h) 連續(xù)工作溫度:1100 ℃ 推薦升溫速率:≤10℃/min 加熱區(qū)長(zhǎng)度:加熱區(qū)長(zhǎng)度:900mm(三個(gè)溫區(qū)段都為300mm) 熱電偶:K型 外形尺寸:1675mm*645mm*865mm |
爐體結(jié)構(gòu)&溫控 | 爐體結(jié)構(gòu)&溫控:采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng);爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,減少能量損失;內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命;三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制;包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能;控溫精度±1℃;默認(rèn)DB9PC通信連接端口;可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線(xiàn)和導(dǎo)出數(shù)據(jù) |
加熱元件 | 鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb |
爐管尺寸 | 石英管口徑可選φ50、φ60、φ80、φ100、φ130 |
真空密封 | 標(biāo)配:一對(duì)不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈 選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計(jì) |
法蘭接口 | 為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請(qǐng)咨詢(xún)我公司銷(xiāo)售經(jīng)理 |
真空度 | 采用雙旋片式機(jī)械真空泵真空度可以達(dá)到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組 |
可選 | 本公司還可以提供防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要轉(zhuǎn)換系數(shù) |
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件 | CE、UL等認(rèn)證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等采用ABB電器元件 |
售后 | 質(zhì)保期一年,終身維護(hù);24小時(shí)在線(xiàn)服務(wù) |
注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等);氣體的流量應(yīng)限制在<200 SCCM(或200ml/ min) |
免責(zé)聲明 | 本產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等) 僅供參考。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請(qǐng)與我司銷(xiāo)售人員聯(lián)系。本信息不構(gòu)成任何要約或承諾,我司會(huì)不定期完善產(chǎn)品,恕不另行通知,請(qǐng)您見(jiàn)諒 |
質(zhì)子供氣系統(tǒng)GYS-3Z參數(shù)表是一款低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里,移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí),可將管式爐置于移動(dòng)柜上上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀本示都集中在一個(gè)7寸的LCD觸摸屏上,便于操控的同時(shí),可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線(xiàn)和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料接種CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。
一、OYS-300F風(fēng)冷分子泵機(jī)組參數(shù)表產(chǎn)品簡(jiǎn)介
此機(jī)組為風(fēng)冷機(jī)組無(wú)需冷卻,本機(jī)組極限真空5*10-5Pa ,充分考慮到實(shí)驗(yàn)室及一些研究院所的使用條件,大大方便了客戶(hù)的使用范圍,本產(chǎn)品為一鍵啟動(dòng)模式,大大降低了對(duì)使用者的專(zhuān)業(yè)要求。JTFB-300F分子泵為抗沖擊型。
二、技術(shù)資料
產(chǎn)品型號(hào) | GYS-3Z |
產(chǎn)品參數(shù) | 電源:220V 50/60HZ 額定功率:23 W 流量計(jì)范圍:1-100SCCM;1-200SCCM;1-500SCCM 有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上,與混氣管相連接 壓力表量程:-0.1~0.15MPa 混氣罐尺寸: φ80*120mm |
氣口/閥門(mén) | 內(nèi)部連接管道為Ø6.35 |
產(chǎn)品尺寸 | 外形尺寸:長(zhǎng)610mm*寬610mm*高710mm |
重量 | 約30KG |
產(chǎn)品特點(diǎn) | 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡(jiǎn)便 采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作 所有儀表及閥門(mén)的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸 |
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